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前驱体源系统项目采购信息公开（科研仪器设备类）-成交结果公告
信息来源： ******[查看]
|地区：广东
|类型：结果公示
基本信息
信息类型：结果公示
区域：广东
源发布时间：2024-11-21
项目名称：******[查看]
招标单位：******[查看]
中标单位：******[查看]
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******学院

二、项目名称：前驱体源系统

三、公开信息：

1.设备名称：前驱体源系统

2.数量：1

3.关键技术指标：（1) 加热源1路，载气辅助源1路； （2) 加热源：配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms，阀体内置直径为1/8英寸加热器，温度范围RT-200℃)、源手动阀、不锈钢源瓶(50 mL)，源瓶温度范围RT-200℃；

4.预算金额：125,000.00元

******有限公司

6.拟成交价格：125,000.00元

******学院

2024年11月21日

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快照：2024-11-21
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